氮化硅反应烧结工艺温度曲线优化的研究RESEARCH ON THE OPTIMIZATION OF THERMAL CURVE FOR SILICONNITROGEN REACTION SINTERING TECHNOLOGY
李爱平,周文君,高汶栋
摘要(Abstract):
本文针对上海氮化硅制品厂氮化硅反应烧结工艺存在的温度控制重要课题,探讨了氮化硅反应烧结工艺温度曲线的优化方法。
关键词(KeyWords): 氮化硅,优化,温度控制
基金项目(Foundation):
作者(Author): 李爱平,周文君,高汶栋
DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.1998.01.003