中国陶瓷

2007, No.225(08) 34-35+13

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基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制
PREPARATION OF MULTI-LOADING DEVICE FOR MEMS TESTING BASED ON PZT

施阳和;张鸿海;汪学方;

摘要(Abstract):

MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的。为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台。这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置。从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础。

关键词(KeyWords): 微机电系统;压电陶瓷测试;多载荷加载台;设计原理

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家863计划资助项目,编号:2004AA404043

作者(Authors): 施阳和;张鸿海;汪学方;

DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2007.08.008

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