中国陶瓷

2015, v.51;No.324(11) 15-19

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阴极电弧技术制备TiAlN与TiAlSiN涂层的性能研究
Research on the Performance of TiAlN and TiAlSiN Coatings Prepared by the Cathode Arc Technology

张而耕;陈强;

摘要(Abstract):

阴极电弧技术(cathode arc technology)具有真空蒸镀及溅射镀膜的优点,目前而言该技术还在被不断地研究与发展。文章介绍了阴极电弧技术及其特点,分析了该技术制备的Ti Al N与Ti Al Si N涂层的微观结构以及元素的存在形式,并举例说明该技术制备的Ti Al N与Ti Al Si N涂层的物理性能及其应用。

关键词(KeyWords): 阴极电弧;物理气相沉积;硬度;热稳定性;微观结构;镀膜

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 上海市教委创新基金(12YZ160);; 上海市联盟计划(L201203;L201308)

作者(Authors): 张而耕;陈强;

DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2015.11.004

参考文献(References):

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