劳子轩;胡跃辉;陈义川;帅伟强;童帆;范建彬;

• 1:景德镇陶瓷大学机械电子工程学院

摘要(Abstract)：

采用溶胶-凝胶法以旋涂的方式在石英玻璃上制备锡掺氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,在不同的退火气氛下对薄膜进行热处理,以此研究退火气氛对薄膜的微观结构和光电性能的影响。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪等手段对薄膜样品进行分析表征,实验表明:不同气氛条件下热处理的ZnO∶Sn薄膜仍为六方纤锌矿结构并沿c轴择优生长,且在可见光范围(400⁹00 nm)样品的平均透过率均超过80%。其中,在氮气气氛下退火处理的薄膜电阻率减小至3.152×10900 nm)样品的平均透过率均超过80%。其中,在氮气气氛下退火处理的薄膜电阻率减小至3.152×10^(-2)Ω·cm,在惰性气体中热处理有效提高了薄膜的光电特性。

关键词(KeyWords)： 溶胶凝胶;Sn掺杂ZnO薄膜;退火气氛;光电特性

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然基金项目(61464005,51562015);; 江西省青年重点基金项目(20153BCB23004);; 江西省科技支撑计划资助项目(2010BGA01100);; 江西省对外合作资助项目(20132BDH80025,20151BDH80031);; 江西省自然基金资助项目(20143ACB21004,20151BAB202010,20151BAB212008);; 江西省主要学科学术和技术带头人培养计划项目(20123BCB22002);; 江西省高等学校科技落地计划(KJLD12085,KJLD14075);; 江西省教育厅科技资助项目(GJJ12494,GJJ13643,GJJ13625);; 景德镇市科技项目(2013-1-4,2014-2-22,2014-1-3)

作者(Authors): 劳子轩;胡跃辉;陈义川;帅伟强;童帆;范建彬;

DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2016.10.003

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